- 입경 0.1 micron 입자를 99.9995% 이상 포집하는 필터입니다.
- 반도체, 초 LSI 공장, CLEAN-BENCH 등
표준사양
| 정풍량 |
| MODEL |
규격
(HxWxD / mm) |
풍량(CMM) |
압력손실(mmAq) |
| 초기 |
말기 |
| CFUHL-6315ALP |
610 X 305 X 150 |
9 |
25.4 |
50.8 |
| CFUHL-6615ALP |
610 X 610 X 150 |
18 |
| CFUHL-6715ALP |
610 X 762 X 150 |
22 |
| CFUHL-6915ALP |
610 X 915 X 150 |
28 |
| CFUHL-61215ALP |
610 X 1220 X 150 |
32 |
| CFUHL-6329ALP |
610 X 305 X 292 |
16 |
| CFUHL-6629ALP |
610 X 610 X 292 |
32 |
| CFUHL-6729ALP |
610 X 762 X 292 |
40 |
| CFUHL-6929ALP |
610 X 915 X 292 |
48 |
| 다풍량 |
| MODEL |
규격
(HxWxD / mm) |
풍량(CMM) |
압력손실(mmAq) |
| 초기 |
말기 |
| CFHHL-6315ALP |
610 X 305 X 150 |
14 |
25.4 |
50.8 |
| CFHHL-6615ALP |
610 X 610 X 150 |
28 |
| CFHHL-6715ALP |
610 X 762 X 150 |
36 |
| CFHHL-6915ALP |
610 X 915 X 150 |
42 |
| CFHHL-61215ALP |
610 X 1220 X 150 |
56 |
| CFHHL-6329ALP |
610 X 305 X 292 |
26 |
| CFHHL-6629ALP |
610 X 610 X 292 |
52 |
| CFHHL-6729ALP |
610 X 762 X 292 |
65 |
| CFHHL-6929ALP |
610 X 915 X 292 |
78 |
표준사양
| MODEL |
규격
(HxWxD / mm) |
풍량(CMM) |
압력손실(mmAq) |
| 초기 |
말기 |
| CFUHS-6375ALP |
610 X 305 X 75 |
5 |
25.4 |
50.8 |
| CFUHS-6675ALP |
610 X 610 X 75 |
10 |
| CFUHS-6775ALP |
610 X 762 X 75 |
12 |
| CFUHS-6975ALP |
610 X 915 X 75 |
15 |
| CFUHS-61275ALP |
610 X 1220 X 75 |
20 |
| CFUHS-6310ALP |
610 X 305 X 100 |
5 |
| CFUHS-6610ALP |
610 X 610 X 100 |
10 |
| CFUHS-6710ALP |
610 X 762 X 100 |
12 |
| CFUHS-6910ALP |
610 X 915 X 100 |
15 |
| CFUHS-61210ALP |
610 X 1220 X 100 |
20 |
표준사양
| MODEL |
규격
(HxWxD / mm) |
풍량(CMM) |
압력손실(mmAq) |
| 초기 |
말기 |
| CFUHS-6390ALG |
610 X 305 X 90 |
11 |
25.4 |
50.8 |
| CFUHS-6690ALG |
610 X 610 X 90 |
22 |
| CFUHS-61290ALG |
610 X 1220 X 90 |
44 |
| CFUHS-6312ALG |
610 X 305 X 120 |
14 |
| CFUHS-6612ALG |
610 X 610 X 120 |
28 |
| CFUHS-61212ALG |
610 X 1220 X 120 |
56 |
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